自动晶圆搬送机 AL110
有助于提高晶圆的成品率和生产率的手动搬运装置
对应从小直径到200 mm的晶圆直径。采用非接触式搬运装置，把与晶圆的接触降低到最低限度，防止了灰尘等的附着，为后续工程的品质保证提供了极高的可靠性和安全性。
自动晶圆搬送机 AL110
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对应从小直径到200 mm的晶圆直径。采用非接触式搬运装置，把与晶圆的接触降低到最低限度，防止了灰尘等的附着，为后续工程的品质保证提供了极高的可靠性和安全性。
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