自动晶圆搬送机 AL110 : 特长
高度的操作性能和扩展性能
可以按照晶圆尺寸选择的两种型号
除了200 mm专用、200 mm/150 mm兼用的AL110-8系列之外，又推出了只要改变单元就能对应150 mm、125 mm和100 mm尺寸的AL110-6系列。非接触式搬运装置可以搬运小直径晶圆。AL110-6系列还可以个别对应50 mm、75 mm的晶圆搬运（非接触式搬运不可）。
缩短制程时间，实现快速检查
使用非接触式搬运装置和透视型传感器检测晶圆的晶向定位（凹槽），缩短了晶圆的交换时间，从而缩短了搬运时间。
进一步提高清洁度
为了尽量减少设备与晶圆的接触，采用了高精度的非接触式搬运机构。此外，在操作面板和宏观功能的手柄盖等处使用了不锈钢，防止了搬运、操作时灰尘的附着，极大程度的提高了清洁度。
电动载物台安全搬运晶圆
组合了可以与自动晶圆搬送机联动操作的电动载物台MS200，实现了载物台的简易化。
AL110电动载物台
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