自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12
提高300 mm晶圆原料利用率和生产率的手动搬运装置
推出了对应FOUP开口（装载口）和FOSB规格2种产品型号。实现了不受晶圆条件（簿晶圆、变形晶圆）影响的搬运系统，为后道工程的品质保证提供了极高的可靠性和安全性。
自动300 mm晶圆搬送机
AL120-LMB12-LP
自动300 mm晶圆搬送机
AL120-LMB12-F
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推出了对应FOUP开口（装载口）和FOSB规格2种产品型号。实现了不受晶圆条件（簿晶圆、变形晶圆）影响的搬运系统，为后道工程的品质保证提供了极高的可靠性和安全性。
自动300 mm晶圆搬送机
AL120-LMB12-LP
自动300 mm晶圆搬送机
AL120-LMB12-F
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