近红外检查系统显微镜 MX-IR/BX-IR
能观察IC内部的近红外线（IR）观察专用型号（反射透射兼用）
搭载了由可见光线领域到近红外线领域校正了像差的IR专用物镜，和数字增强系统，能轻松地观察IC内部。可以根据样本大小和用途选择MX/BX系列产品。
近红外检查系统显微镜 BX51-IR
近红外检查系统显微镜 MX61-IR
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| 晶圆（IR观察） | 晶圆（IR观察） |
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| 晶圆（IR观察） | 晶圆（IR观察） |
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搭载了由可见光线领域到近红外线领域校正了像差的IR专用物镜，和数字增强系统，能轻松地观察IC内部。可以根据样本大小和用途选择MX/BX系列产品。
近红外检查系统显微镜 BX51-IR
近红外检查系统显微镜 MX61-IR
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