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能综合控制外围设备、对应300 mm晶圆的电动型号（反射专用）。
能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）。
能应对200 mm晶圆和FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）
能对应150 mm晶圆／FPD玻璃基板的手动操作型号（反射透射兼用）。
能观察IC内部的近红外线（IR）观察专用型号（反射透射兼用）。
能以高倍率、高对比度进行深紫外线（DUV）观察的型号。
提高300 mm晶圆原料利用率和生产率的手动搬运装置。
提高晶圆原料利用率和生产率的手动搬运装置。
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