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能综合控制外围设备、对应300 mm晶圆的电动型号(反射专用)。
能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)。
能应对200 mm晶圆和FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)
能对应150 mm晶圆/FPD玻璃基板的手动操作型号(反射透射兼用)。
能观察IC内部的近红外线(IR)观察专用型号(反射透射兼用)。
能以高倍率、高对比度进行深紫外线(DUV)观察的型号。
提高300 mm晶圆原料利用率和生产率的手动搬运装置。
对应直径200 mm及以下的晶圆,为提高产能和优化良率做出贡献的晶圆搬送机
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