工业检测显微镜 MX51
能对应150 mm晶圆／FPD玻璃基板的手动操作型号（反射透射兼用）
对应从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。高度的扩展性能可以对应不同的样品，性价比优异。
工业检查显微镜 MX51
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| 晶圆（明视场观察） | 晶圆（暗视场观察） |
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| 晶圆（微分干涉观察） | 彩色滤色片（透射观察） |
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对应从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。高度的扩展性能可以对应不同的样品，性价比优异。
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| 晶圆（明视场观察） | 晶圆（暗视场观察） |
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| 晶圆（微分干涉观察） | 彩色滤色片（透射观察） |
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