半导体/FPD检查显微镜 MX61
能对应200 mm晶圆和FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）
能够应对从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时亮度光圈连动能进行自动调节。这些功能实现了快速舒适的检查环境。
半导体/FPD检查显微镜 MX61
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| 晶圆（明视场观察） | 晶圆（暗视场观察） |
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| 晶圆（微分干涉观察） | 彩色滤色片（透射观察） |
End of main content
能够应对从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时亮度光圈连动能进行自动调节。这些功能实现了快速舒适的检查环境。
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| 晶圆（明视场观察） | 晶圆（暗视场观察） |
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| 晶圆（微分干涉观察） | 彩色滤色片（透射观察） |
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