全自动半导体检查显微镜 MX61A
能综合控制外围设备、对应300 mm晶圆的电动型号（反射专用）
包含外围设备的显微镜环境整体都能从容操控。电动控制不会受到不同样本和操作员等各种条件的影响，一直提供最佳的检查环境。
全自动半导体检查显微镜 MX61A
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| 晶圆（明视场观察） | 晶圆（暗视场观察） |
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| 晶圆（微分干涉观察） | 晶圆（荧光观察） |
End of main content
包含外围设备的显微镜环境整体都能从容操控。电动控制不会受到不同样本和操作员等各种条件的影响，一直提供最佳的检查环境。
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| 晶圆（明视场观察） | 晶圆（暗视场观察） |
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| 晶圆（微分干涉观察） | 晶圆（荧光观察） |
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