全自动半导体检查显微镜 MX61A : 特长(1)
对应检查需求的搭配组合

适应检查需求的检查引擎(Inspection-Engine)模块
灵活地应对不断变化的检查需求,这就是检查引擎(Inspection-Engine)。
作为核心对MX61A系统全体进行控制的是操作单元。预先设置的观察条件可由操作员(观察者)随时调用,也可以多人共享。可以选择适应了使用环境的菜单的操作单元和对应各种观察方法的自动对焦单元,提供了更高水准的检查环境。

操作单元“OPERATOR(操作员)”操作画面
适应使用环境、可以分开使用的操作单元
操作单元备有三个操作画面,观察者高效率的操作显微镜。
- 网罗观察的基本操作的“OPERATOR(操作员)”画面
- 更高级操作的“ENGINEER(工程师)”画面
- 最多可设置六个观察条件,可随时调用复杂条件设置的“FUNCTION(功能)”画面
“OPERATOR(操作员)”画面
“ENGINEER(工程师)”操作画面
“FUNCTION(功能)”画面


物镜倍率,微分干涉有无,亮度光圈设置,
灯光,DIC延迟调节,有无AF
设置最合适的观察条件
与物镜选择、观察方法切换连动的亮度光圈(AS),以及物镜之间的同一焦点校正、DIC延迟调节等均可通过操作单元触摸面板进行设置。操作单元有三个“USER(用户)”设置,可由多位操作员(观察者)共享。
可以触摸屏操作的手控开关
配备了触摸屏操作的手控开关,可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法,就能得到基于登录条件的最合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。
手控开关操作部
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