全自动半导体检查显微镜 MX61A : 规格
| 光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正） | ||
|---|---|---|---|
| 机身 | 观察方法 | 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 | |
| 反射/透射 | 反射 | ||
| 照明装置 | 机身一体型（明视场，暗视场＋1选件） | ||
| 照明系统 | 反射照明 | 100 W卤素/100 W水银/75 W氙 | |
| 透射照明 | - | ||
| 对焦单元 | 电动/手动 | 电动 | |
| 行程 | 25.4 mm | ||
| 分辨率/微调灵敏度 | 分辨率0.01 μm | ||
| 最大样本高度 | 24 mm | ||
| 物镜转换器 | 电动型 | 明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔 明暗视场微分干涉6孔 明暗视场微分干涉中心输出5孔 |
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| 手动式 | - | ||
| 载物台 | 行程 | 14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm
8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm |
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| 观察筒 | 广角视场（视场数22） | 倒置 | - |
| 正像 | - | ||
| 超宽视场（视场数26.5） | 倒置 | - | |
| 正像 | 倾斜三目观察筒 | ||
| 附件单元 | 自动调焦/DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 | ||
| 外形尺寸 | 711（W）×853（D）×552（H）mm（标准组合） | ||
| 重量 | 56 kg（标准组合） | ||
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