半导体/FPD检查显微镜 MX61L
能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）
应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本。
半导体／FPD检查显微镜MX61L
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| 晶圆（明视场观察） | 晶圆（暗视场观察） |
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| 晶圆（微分干涉观察） | 彩色滤色片（透射观察） |
End of main content
应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本。
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| 晶圆（明视场观察） | 晶圆（暗视场观察） |
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| 晶圆（微分干涉观察） | 彩色滤色片（透射观察） |
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