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激光显微镜

使用激光和共焦点光学系统可以得到比一般光学显微镜更高分辨率的影像。另外，三维立体图像的合成实现了高精度的高度测量。

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3D测量激光共焦显微镜 LEXT OLS4000
3D测量激光共焦显微镜

LEXT OLS4000

配置405 nm激光，可以对微小领域进行高分辨率的3维观察、计测和粗糙度测量

明视场 微分干涉 对应300 mm 晶圆 405 nm激光 粗糙度测量

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