深紫外检测系统 U-UVF248
能以高倍率、高对比度进行深紫外线（DUV）观察的型号
采用了适合深紫外线248 nm的光学系统，实现了分辨率高达0.08 μm的高对比度成像。可以根据样品的大小分别选择MX61L/MX61/MX51。
深紫外检测系统 U-UVF248
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| 晶圆（DUV观察） |
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采用了适合深紫外线248 nm的光学系统，实现了分辨率高达0.08 μm的高对比度成像。可以根据样品的大小分别选择MX61L/MX61/MX51。
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| 晶圆（DUV观察） |
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